销售ALD专用前驱体源
Company Profile

文名

分子式

纯度(%

源温特性

注意事项

三甲基铝

(CAS:75-24-1)

Al(CH3)3

99.99

熔点:15.3

沸点:127

蒸汽压:lgP(mmHg)=8.22-2134/T(K)

自燃,与水剧烈反应

三甲基锑

(CAS:594-10-5)

Sb(CH3)3

99.99

熔点:-87.6

沸点:80.6

蒸汽压:lgP(mmHg)=7.730-1709/T(K)

自燃,与水不反应

三乙基锑

(CAS:617-85-6)

Sb(C2H5)3

99.99

熔点:-29

沸点:159.5

蒸汽压:lgP(mmHg)=7.90-2183/T(K)

自燃,与水不反应

二乙基铍

(CAS:542-63-2)

Be(C2H5)2

99.99

熔点:-13~11

沸点:63(399.9Pa)

蒸汽压:lgP(mmHg)=7.90-2183/T(K)

溶于醚及苯,对水及其敏感,在空气中自然

二甲基镉

(CAS:506-82-1)

Cd(CH3)2

99.99

熔点:-4.5

沸点:105.5

蒸汽压:lgP(mmHg)=7.76-1850/T(K)

自燃,与水剧烈反应

三甲基镓

(CAS:1445-79-0)

Ga(CH3)3

99.99

熔点:-15.8

沸点:55.7

蒸汽压:lgP(mmHg)=8.070-1703/T(K)

自燃,与水剧烈反应

三乙基镓

(CAS:1115-99-7)

Ga(C2H5)2

99.99

熔点:-82.3

沸点:143

蒸汽压:lgP(mmHg)=8.080-2162/T(K)

自燃,与水剧烈反应

三甲基铟

(CAS:3385-78-2)

In(CH3)3

99.99

熔点:88.4

沸点:133.8

;蒸汽压:lgP(mmHg)=10.52-3014/T(K)

自燃,与水剧烈反应

二叔丁基碲

(CAS:83817-35-0)

Te(C(CH3)3)2

99.99

沸点:132

;蒸汽压:lgP(mmHg)=4.727-1323/T(K)

对氧气、水汽和光十分敏感

二乙基锌

(CAS:557-20-0)

Zn(C2H5)2

99.99

熔点:28

沸点:98

蒸汽压:lgP(mmHg)=8.280-2109/T(K)

自燃,与水剧烈反应