销售ALD专用前驱体源
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中文名

分子式

纯度

%

源温特性

注意事项

三(二甲胺基)锑

(CAS:7289-92-1)

Sb(N(CH3)2)3

99.99

沸点:57

蒸汽压:lgP(mmHg)=6.230-1734/T(K)

易燃,与水剧烈反应

[N,N-(三甲基硅烷)]

(CAS:35789-03-8)

Gd[N(Si(CH3)3)2]3

99.99

熔点:67-90

沸点:126

白色粉末,对空气敏感

(二甲胺基)

(CAS:57731-40-5)

Ga(N(CH3)2)3

99.99

熔点:104-105.5

沸点:N/A

易燃,与水剧烈反应

(二甲胺基)

(CAS:7344-40-3)

Ge(N(CH3)2)4

99.99

熔点:14

沸点:215

易燃,与水剧烈反应

(二甲胺基)

(CAS:19962-11-9)

Hf(N(CH3)2)4

99.99

熔点:38-41

沸点:85(0.1mmHg)

蒸汽压:lgP(mmHg)=9.9457-3270.8/T(K)

易燃,与水剧烈反应

(甲乙胺基)

(CAS:352535-01-4)

Hf(N(CH3)(C2H5))4

99.99

沸点:79(0.01mmHg)

蒸汽压:lgP(mmHg)=9.447-3432.3/T(K)

易燃,与水剧烈反应

[N,N-(三甲基硅烷)]

(CAS:175923-07-6)

Gd[N(Si(CH3)3)2]3

99.99

熔点:149-153

沸点:126

白色粉末,对空气敏感

(二甲胺基)

(CAS:15112-89-7)

Si(N(CH3)2)3

99.99

熔点:-90

沸点:142

易燃,与水剧烈反应

(二甲胺基)

(CAS:3275-24-9)

Ti(N(CH3)2)4

99.99

熔点:-30

沸点:50(0.5mmHg)

蒸汽压:lgP(mmHg)=8.600-2850/T(K)

易燃,与水剧烈反应

(二甲胺基)

(CAS:19824-59-0)

Ta(N(CH3)2)5

99.99

熔点:150(dec)

沸点:100(0.1mmHg)

蒸汽压:lgP(mmHg)=11.30-4125/T(K)

空气敏感

(二甲胺基)

(CAS:1066-77-9)

Sn(N(CH3)2)4

99.99

熔点:N/A

沸点:53-55(0.1mmHg)

蒸汽压:N/A

易燃,与水剧烈反应

(甲乙胺基)

(New)

V(N(C2H5)(CH3))4

99.99

N/A

N/A

(二甲胺基)

(CAS:19756-04-8)

Zr(N(C2H5)2)4

99.99

熔点:N/A

沸点:112(0.1mmHg)

蒸汽压:N/A

易燃,与水剧烈反应

(甲乙胺基)

(CAS:175923-04-3)

Zr(N(C2H5) (CH3))4

99.99

熔点:N/A

沸点:81(0.1mmHg)

蒸汽压:lgP(mmHg)=7.3218-2759.9/T(K);;

易燃,与水剧烈反应