销售ALD专用前驱体源
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中文名

分子式

纯度

%

源温特性

注意事项

三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铋

(CAS:142617-53-6)

Bi(C11H19O2)3

99.99

熔点:114-116℃;

沸点:295(dec)

蒸汽压:lgP(mmHg)=10.27-5199/T(K)

对水汽敏感

二(六氟戊二酮)铜

(CAS:14781-45-4)

Cu(C5H8O2F6)2

99.99

熔点:97~99℃;

沸点:220℃;

蓝紫色晶体

三(乙酰丙酮)铱

(CAS:15635-87-7)

Ir(CH3COCH=CCH3O)3

99.99

熔点:269-271℃;

沸点:N/A

N/A

三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)镧

(CAS:14319-13-2)

La(C11H19O2)3

99.99

熔点:227-231℃;

沸点:370(dec)

蒸汽压:lgP(mmHg)=2.4732-1903/T(K)

对水汽敏感

二(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铅

(CAS:21319-43-7)

Pb(C11H19O2)2

99.99

熔点:126-128℃;

沸点:325(dec)

蒸汽压:lgP(mmHg)=8.4-3875/T(K)

对水汽敏感

三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)钇

(CAS:15632-39-0)

Y(C11H19O2)3

99.99

熔点:170-173℃;

沸点:290(dec)

蒸汽压:lgP(mmHg)=15.4-6831/T(K)

对水汽敏