销售ALD专用前驱体源
Company Profile

文名

分子式

纯度

%

源温特性

注意事项

四氯化碳

(CAS:56-23-5)

CCl4

99.99

熔点:-23

沸点:76

蒸汽压:91mmHg/25

N/A

四氯化锗

(CAS:10038-98-9)

GeCl4

99.99

熔点:-49.5

沸点:83.1

蒸汽压:lgP(mmHg)=7.625-1960/T(K)

对水汽敏感

五氯化钽

(CAS:7721-01-9)

TaCl5

99.99

熔点:216

沸点:242

蒸汽压:lgP(mmHg)=12.734-4890/T(K)

对水汽敏感

四氯化锡

(CAS:7646-78-8)

SnCl4

99.99

熔点:-33

沸点:114.1(dec)

蒸汽压:23.9mmHg/25

对水汽敏感

四氯化钛

(CAS:7550-45-0)

TiCl4

99.99

熔点:-24

沸点:137(dec)

蒸汽压:lgP(mmHg)=7.64-1947/T(K)

对水汽敏感

四异丙醇钛

(CAS:546-68-9)

Ti[OCH(CH3)2]4

99.99

熔点:14-17

沸点:232(dec)

对水汽敏感